臺達伺服驅動器剛度是指材料或結構在受力時抵抗彈性變形的能力，是材料或結構彈性變形難易程度的表征。材料的剛度通常用彈性模量E來衡量。在宏觀彈性范圍內，剛度是零件荷載與位移成正比的比例系數，即引起單位位移所需的力。它的倒數稱為柔度，即單位力引起的位移。剛度可分為靜剛度和動剛度。
一個結構的剛度（k）是指彈性體抵抗變形拉伸的能力。
k=P/δ
P是作用于結構的恒力，δ是由于力而產生的形變。
轉動結構的轉動剛度（k）為：
k=M/θ
M為力矩，θ為旋轉角度。
例如，鋼管比較堅硬，一般受外力形變小，而皮筋比較軟，受到同等力產生的形變就比較大，那我們就說鋼管的剛性強，皮筋的剛性弱，柔性強。
在伺服電機的應用中，用聯軸器連接電機和負載，就是典型的剛性連接；而用同步帶或者皮帶來連接電機和負載，就是典型的柔性連接。
電機剛性就是電機軸抗外界力矩干擾的能力，我們可以在伺服驅動器調節電機的剛性。
臺達伺服驅動器的機械剛度跟它的響應速度有關。一般剛性越高其響應速度也越高，但是調太高的話，會讓電機產生機械共振。所以，在一般的伺服驅動參數里面都有手動調整響應頻率的選項，要根據機械的共振點來調整，需要調試人員的時間和經驗（其實就是調增益參數）。
臺達伺服驅動器在伺服系統位置模式下，施加力讓電機偏轉，如果用力較大且偏轉角度較小，那么就認為伺服系統剛性強，反之則認為伺服剛性弱。這個剛性，就更接近于響應速度這個概念。從控制器角度看的話，剛性其實是速度環、位置環和時間積分常數組合成的一個參數，它的大小決定機械的一個響應速度。
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